Pilz-Optics Beitragskategorien

Planoptik

Konventionelle Optik: Planflächen, Radienflächen

  • Planflächen quaderförmig herstellbar bis 600mm Länge
  • Spärische Flächen herstellbar bis 300mm Durchmesser und quaderförmig bis 1200mm Länge
  • Zylinder Toroide quaderförmig herstellbar bis 1200mm Länge

Wir erreichen folgende Spezifikationen (Stand 11/2008)

MaterialzuordnungMaterial-
bezeichnung
Slope Error
in arcrms
Surface Roughness
in nm rms(1nm=0,001µ)

Kristalline
Werkstoffe
Silizium
(Monokristallin)
0,2 0,18
 
Optische
Gläser
Glas (z.B BK7)
Zerodur
Quarzglas
0,2
0,2
0,2
0,15
0,15
0,15
 
Metalle Edelstahl(Böhler)
Glidcop (Kupferleg.)
Inconell
Molybdän
Chemisch Nickel
Aluminium
Niob
Titan
0,3
0,5
0,5
1,0
0,2
0,5
---
1,0
0,4
2,5
2,7-4,0
2,8
0,3
10-17
15-25
16, 0-32, 0
 
Sonderwerkstoffe Germanium
Zeroxyd
Siliziumcarbid
Saphir
0,3
0,5
0,2
0,5
0,4
0,6
0,2
0,3

 

Sonderoptik

Kugeln und Zylinder (Walzen und Bohrungen)

  • Kugeln herstellbar bis 200mm Durchmesser
  • Zylinder (Walzen und Bohrungen) auf Anfrage
MaterialzuordnungMaterial-
bezeichnung
Rundheit in µMaßhaltigkeit in µ
Kristalline
Werkstoffe
Silizium
(Monokristallin)
≤1,0 1,0
 
Optische
Gläser
Glas (z.B BK7)
Zerodur
Quarzglas
≤0,5
≤0,3
≤0,5
1,0
1,0
1,0
 
Metalle Edelstahl(Böhler)
Glidcop (Kupferleg.)  
Molybdän
1,0
1,0
1,0
1,0
1,0
1,0
 
Sonderwerkstoffe Germanium
Siliziumcarbid
Saphir
≤1,0
≤1,0
≤2,0
1,0
1,0
2,0

 

Röntgenoptik

Röntgenspiegel Allgemein

Röntgenspiegel wie Planspiegel, Zylinder- und Toroidspiegel
Spiegellängen bis max. 1500mm mit einer max. polierten Fläche von 1500 x 150mm².
Substratmaterialien:

  • Silizium (monokristallin) der Fa. Wacker, wenn gewünscht mit Gitterorientierung
  • Quarzglas wie z.B. HOQ310 von Fa. Hereaus
  • ULE der Fa. Corning
  • Zerodur der Fa. Schott

Spezifikationen

Nach derzeitigem Fertigungsstand erreichen wir folgende Spezifikationen bei den
Spiegelsubstraten:

Planspiegel

PlanspiegelEbenheit bzw.
Radienabweichung
Tangentenfehler
Slope error
Mikrorauhigkeit
Substratmaterial in arcsecin nm
Silizium
(Monokristallien)
R > 100km Best Efford ≤ 0,1 0,15 - 0,3  
Quarz, Zerodur,
ULE
R > 100km Best Efford ≤ 0,1 0,10 - 0,30

Andere Substratmaterialien auf Anfrage: wie z.B. Glidcop, SiC, Chem. Nickel, Edelstahl (Böhler)

Zyliner-Spiegel

Zylinder-SpiegelEbenheit bzw.
Radienabweichung
Tangentenfehler
Slope error
Mikrorauhigkeit
Substratmaterial in arcsecin nm
Silizium
(Monokristallien)
R longitudinal > 100km  
R saggital auf Anfrage*
longitudinal ≤ 0,2  
Saggital ≤ 2,0
0,15 - 0,30  
Quarz, Zerodur,
ULE
R longitudinal > 100km
R saggital auf Anfrage*
longitudinal ≤ 0,2
Saggital ≤ 2,0
0,10 - 0,30

* Umschlingungswinkel = max. ± 40°
Andere Substratmaterialien auf Anfrage: wie z.B. Glidcop, SiC, Chem. Nickel, Edelstahl (Böhler)

Toroid-Spiegel

Zylinder-SpiegelEbenheit bzw.
Radienabweichung
Tangentenfehler
Slope error
Mikrorauhigkeit
Substratmaterial in arcsecin nm
Silizium
(Monokristallien)
R longitudinal > 100km  
R saggital auf Anfrage*
longitudinal ≤ 0,2 - 0,5**  
Saggital ≤ 2,0 - 5,0**
0,15 - 0,30  
Quarz, Zerodur,
ULE
R longitudinal > 100km
R saggital auf Anfrage*
longitudinal ≤ 0,2 - 0,5**
Saggital ≤ 2,0 - 5,0**
0,10 - 0,30

* Umschlingungswinkel = max. ± 40°
** Abhängig von der Deformation der optischen Fläche
Andere Substratmaterialien auf Anfrage: wie z.B. Glidcop, SiC, Chem. Nickel, Edelstahl (Böhler)

Röntgenspiegel-Toroid aus Quarzglas

Spiegellänge: 520 mm

Daten zum Röntgenspiegel-Toroid

 SpezifikationenMessergebnisse
Radien Longituinal: Radius 2275,15m Radius 2479,56m (Mittelspur)
  Sagital: Radius 111,48mm Radius 111,7mm
Slope Error Longitudinal: ≤ 1,0arcsec rms 0,54 arcsec rms
  Sagital: ≤ arcsec rms ---
Mikrorauhigkeit ≤ 0,3 nm rms Sq = 0,16 - 0,22 nm rms
Sa = 0,12 - 0,17 nm rms

Geliefert 2008-10-01

Plan-Zylinder Röntgenspiegel

Spiegellänge: 1000mm

Technische Daten: Planfläche, 2 Zylinderflächen
Zylinderflächen: R longitudinal ≤ 50km
  R sagittal 88,0mm
  Beschichtung: Palladium

Daten zum Plan-Zylinder Röntgenspiegel

 SpezifikationenMessergebnisse
Planfläche    
Radien Longitudinal: Radius 104km  
Slope Error Longitudinal: 0,089 arcsec rms  
  Sagittal: 2,0 arcsec rms  
Zylinderfläche   in Bearbeitung
Radien Longitudinal: R= 110km & 200km Lieferung 010/2009
Slope Error Longitudinal: ≤ 0,15 arcsec rms  
  Sagital: ≤ 0,2 arcsec rms  
Mikrorauhigkeit ≤ 0,2 nm rms  

Produkte

Röntgenoptik

Röntgenspiegel-Toroid aus Quarzglas
Plan-Zylinder Röntgenspiegel

Glidcop + Silizum-Spiegel + Silizium Kugel

Glidcop-Spiegel
Glidcop-Spiegel
Silizium-Kugel
Silizium-Spiegel
Silizium-Spiegel