Pilz-Optics Beitragskategorien

Materialzuordnung	Material- bezeichnung	Slope Error in arcrms	Surface Roughness in nm rms(1nm=0,001µ)
Kristalline Werkstoffe	Silizium (Monokristallin)	0,2	0,18

Optische Gläser	Glas (z.B BK7) Zerodur Quarzglas	0,2 0,2 0,2	0,15 0,15 0,15

Metalle	Edelstahl(Böhler) Glidcop (Kupferleg.) Inconell Molybdän Chemisch Nickel Aluminium Niob Titan	0,3 0,5 0,5 1,0 0,2 0,5 --- 1,0	0,4 2,5 2,7-4,0 2,8 0,3 10-17 15-25 16, 0-32, 0

Sonderwerkstoffe	Germanium Zeroxyd Siliziumcarbid Saphir	0,3 0,5 0,2 0,5	0,4 0,6 0,2 0,3

Sonderoptik

Kugeln und Zylinder (Walzen und Bohrungen)

Kugeln herstellbar bis 200mm Durchmesser
Zylinder (Walzen und Bohrungen) auf Anfrage

Materialzuordnung	Material- bezeichnung	Rundheit in µ	Maßhaltigkeit in µ
Kristalline Werkstoffe	Silizium (Monokristallin)	≤1,0	1,0

Optische Gläser	Glas (z.B BK7) Zerodur Quarzglas	≤0,5 ≤0,3 ≤0,5	1,0 1,0 1,0

Metalle	Edelstahl(Böhler) Glidcop (Kupferleg.) Molybdän	1,0 1,0 1,0	1,0 1,0 1,0

Sonderwerkstoffe	Germanium Siliziumcarbid Saphir	≤1,0 ≤1,0 ≤2,0	1,0 1,0 2,0

Röntgenoptik

Röntgenspiegel Allgemein

Röntgenspiegel wie Planspiegel, Zylinder- und Toroidspiegel
Spiegellängen bis max. 1500mm mit einer max. polierten Fläche von 1500 x 150mm².
Substratmaterialien:

Silizium (monokristallin) der Fa. Wacker, wenn gewünscht mit Gitterorientierung
Quarzglas wie z.B. HOQ310 von Fa. Hereaus
ULE der Fa. Corning
Zerodur der Fa. Schott

Spezifikationen

Nach derzeitigem Fertigungsstand erreichen wir folgende Spezifikationen bei den
Spiegelsubstraten:

Planspiegel

Planspiegel	Ebenheit bzw. Radienabweichung	Tangentenfehler Slope error	Mikrorauhigkeit
Substratmaterial		in arcsec	in nm
Silizium (Monokristallien)	R > 100km	Best Efford ≤ 0,1	0,15 - 0,3
Quarz, Zerodur, ULE	R > 100km	Best Efford ≤ 0,1	0,10 - 0,30

Andere Substratmaterialien auf Anfrage: wie z.B. Glidcop, SiC, Chem. Nickel, Edelstahl (Böhler)

Zyliner-Spiegel

Zylinder-Spiegel	Ebenheit bzw. Radienabweichung	Tangentenfehler Slope error	Mikrorauhigkeit
Substratmaterial		in arcsec	in nm
Silizium (Monokristallien)	R longitudinal > 100km R saggital auf Anfrage*	longitudinal ≤ 0,2 Saggital ≤ 2,0	0,15 - 0,30
Quarz, Zerodur, ULE	R longitudinal > 100km R saggital auf Anfrage*	longitudinal ≤ 0,2 Saggital ≤ 2,0	0,10 - 0,30

* Umschlingungswinkel = max. ± 40°
Andere Substratmaterialien auf Anfrage: wie z.B. Glidcop, SiC, Chem. Nickel, Edelstahl (Böhler)

Toroid-Spiegel

Zylinder-Spiegel	Ebenheit bzw. Radienabweichung	Tangentenfehler Slope error	Mikrorauhigkeit
Substratmaterial		in arcsec	in nm
Silizium (Monokristallien)	R longitudinal > 100km R saggital auf Anfrage*	longitudinal ≤ 0,2 - 0,5 Saggital ≤ 2,0 - 5,0	0,15 - 0,30
Quarz, Zerodur, ULE	R longitudinal > 100km R saggital auf Anfrage*	longitudinal ≤ 0,2 - 0,5 Saggital ≤ 2,0 - 5,0	0,10 - 0,30

* Umschlingungswinkel = max. ± 40°
** Abhängig von der Deformation der optischen Fläche
Andere Substratmaterialien auf Anfrage: wie z.B. Glidcop, SiC, Chem. Nickel, Edelstahl (Böhler)

Röntgenspiegel-Toroid aus Quarzglas

Spiegellänge: 520 mm

Daten zum Röntgenspiegel-Toroid

	Spezifikationen	Messergebnisse
Radien	Longituinal: Radius 2275,15m	Radius 2479,56m (Mittelspur)
	Sagital: Radius 111,48mm	Radius 111,7mm
Slope Error	Longitudinal: ≤ 1,0arcsec rms	0,54 arcsec rms
	Sagital: ≤ arcsec rms	---
Mikrorauhigkeit	≤ 0,3 nm rms	Sq = 0,16 - 0,22 nm rms Sa = 0,12 - 0,17 nm rms

Geliefert 2008-10-01

Plan-Zylinder Röntgenspiegel

Spiegellänge: 1000mm

Technische Daten:	Planfläche, 2 Zylinderflächen
Zylinderflächen:	R longitudinal ≤ 50km
	R sagittal 88,0mm
	Beschichtung: Palladium

Daten zum Plan-Zylinder Röntgenspiegel

	Spezifikationen	Messergebnisse
Planfläche
Radien	Longitudinal: Radius 104km
Slope Error	Longitudinal: 0,089 arcsec rms
	Sagittal: 2,0 arcsec rms
Zylinderfläche		in Bearbeitung
Radien	Longitudinal: R= 110km & 200km	Lieferung 010/2009
Slope Error	Longitudinal: ≤ 0,15 arcsec rms
	Sagital: ≤ 0,2 arcsec rms
Mikrorauhigkeit	≤ 0,2 nm rms