Präzision maßgeschneidert

Röntgenspiegel wie Planspiegel, Zylinder- und Toroidspiegel
Spiegellängen bis max. 1500mm mit einer max. polierten Fläche von 1500 x 150mm².
Substratmaterialien:

• Silizium (monokristallin) der Fa. Wacker, wenn gewünscht mit Gitterorientierung
• Quarzglas wie z.B. HOQ310 von Fa. Hereaus
• ULE der Fa. Corning
• Zerodur der Fa. Schott

Nach derzeitigem Fertigungsstand erreichen wir folgende Spezifikationen bei den
Spiegelsubstraten:

Planspiegel

Planspiegel	Ebenheit bzw. Radienabweichung	Tangentenfehler Slope error	Mikrorauhigkeit
Substratmaterial		in arcsec	in nm
Silizium (Monokristallien)	R > 100km	Best Efford ≤ 0,1	0,15 - 0,3
Quarz, Zerodur, ULE	R > 100km	Best Efford ≤ 0,1	0,10 - 0,30

Andere Substratmaterialien auf Anfrage: wie z.B. Glidcop, SiC, Chem. Nickel, Edelstahl (Böhler)

Zyliner-Spiegel

Zylinder-Spiegel	Ebenheit bzw. Radienabweichung	Tangentenfehler Slope error	Mikrorauhigkeit
Substratmaterial		in arcsec	in nm
Silizium (Monokristallien)	R longitudinal > 100km   R saggital auf Anfrage*	longitudinal ≤ 0,2   Saggital ≤ 2,0	0,15 - 0,30
Quarz, Zerodur, ULE	R longitudinal > 100km R saggital auf Anfrage*	longitudinal ≤ 0,2 Saggital ≤ 2,0	0,10 - 0,30

* Umschlingungswinkel = max. ± 40°
Andere Substratmaterialien auf Anfrage: wie z.B. Glidcop, SiC, Chem. Nickel, Edelstahl (Böhler)

Toroid-Spiegel

Zylinder-Spiegel	Ebenheit bzw. Radienabweichung	Tangentenfehler Slope error	Mikrorauhigkeit
Substratmaterial		in arcsec	in nm
Silizium (Monokristallien)	R longitudinal > 100km   R saggital auf Anfrage*	longitudinal ≤ 0,2 - 0,5**   Saggital ≤ 2,0 - 5,0**	0,15 - 0,30
Quarz, Zerodur, ULE	R longitudinal > 100km R saggital auf Anfrage*	longitudinal ≤ 0,2 - 0,5** Saggital ≤ 2,0 - 5,0**	0,10 - 0,30

* Umschlingungswinkel = max. ± 40°
** Abhängig von der Deformation der optischen Fläche
Andere Substratmaterialien auf Anfrage: wie z.B. Glidcop, SiC, Chem. Nickel, Edelstahl (Böhler)

Daten zum Röntgenspiegel-Toroid

	Spezifikationen	Messergebnisse
Radien	Longituinal: Radius 2275,15m	Radius 2479,56m (Mittelspur)
	Sagital: Radius 111,48mm	Radius 111,7mm
Slope Error	Longitudinal: ≤ 1,0arcsec rms	0,54 arcsec rms
	Sagital: ≤ arcsec rms	---
Mikrorauhigkeit	≤ 0,3 nm rms	Sq = 0,16 - 0,22 nm rms Sa = 0,12 - 0,17 nm rms

Geliefert 2008-10-01

Technische Daten:	Planfläche, 2 Zylinderflächen
Zylinderflächen:	R longitudinal ≤ 50km
	R sagittal 88,0mm
	Beschichtung: Palladium

Daten zum Plan-Zylinder Röntgenspiegel

	Spezifikationen	Messergebnisse
Planfläche
Radien	Longitudinal: Radius 104km
Slope Error	Longitudinal: 0,089 arcsec rms
	Sagittal: 2,0 arcsec rms
Zylinderfläche		in Bearbeitung
Radien	Longitudinal: R= 110km & 200km	Lieferung 010/2009
Slope Error	Longitudinal: ≤ 0,15 arcsec rms
	Sagital: ≤ 0,2 arcsec rms
Mikrorauhigkeit	≤ 0,2 nm rms